芯片制造EDA软件

通过对芯片制造过程中复杂的电离过程、解离过程、化学反应过程、粒子输运过程、表面作用过程的耦合仿真，建立高性能一体化多物理场与EDA软件平台，助力芯片制造设备研发与设计高效联动

阻抗匹配网络（IMN）

通过耦合设备匹配电路与等离子体放电过程仿真，优化阻抗匹配网络参数，增加射频电源传输效率，提高设备运行性能

芯片制造虚拟产线

积元科技依托工业级的设备仿真与工艺仿真引擎，采用对标FAB厂一线真实设备与工艺数据，提供全流程的高精度仿真平台；具象化设备内部运行状态；呈现对设备操作的真实反馈，真实呈现不同参数反映的结果，揭示设备运行与工艺过程的机理，直观地呈现芯片制造流程和实际操作体验。