芯片制造EDA软件

通过对芯片制造过程中复杂的电离过程、解离过程、化学反应过程、粒子输运过程、表面作用过程的耦合仿真，建立高性能一体化多物理场与EDA软件平台，助力芯片制造设备研发与设计高效联动