在装置的研发过程中，如何设计ICP装置的线圈几何结构与空间分布，以及腔室的几何尺寸与结构布局，对装置的运行效果有着十分重要的影响。而在装置的实际运行过程中，放电腔室内部的多物理场如：流场、热场、电磁场、等离子体场与化学反应及电离产物之间是相互耦合互相影响的，如何完整、准确地揭示设备运行的机理，从而针对性地根据工艺需要调整优化装置的设计方案，对设备的研发过程至关重要。

积元科技的ICP仿真软件通过专业的多物理场耦合仿真，完整、准确地揭示设备运行的机理，为装置设计研发与工艺流程验证迭代提供准确、高效的仿真平台。