CCP等离子体内部的物理过程和化学反应都十分复杂，用于工业生产的等离子体性质受工艺参数（进气速度，驱动功率，放电气压等）影响外，同时也受到反应腔设计参数(反应腔的尺寸、大小、进气口与排气口的位置，电极的位置尺寸等)的制约。即影响反应腔内等离子体性质的因素是十分复杂的，特别是在低气压工作的环境下传统模拟方式适用性下降。

通过对CCP设备运行过程中复杂的电离过程、解离过程、化学反应过程、粒子输运过程、表面作用过程的耦合仿真，为用户提供全面的功能性仿真和图形化交互页面，其适用的范围更广，且为等离子体设备研发提供更全面准确的优化设计工具。